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激光干涉儀以光波為載體，其光波波長可以直接對米進行定義，且可以溯源至國家標準，是迄今公認的高精度、高靈敏度的測量儀器，在高端制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
SJ6000激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細分技術(shù)，可實現(xiàn)最高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償；采用高性能計算機控制系統(tǒng)及軟件技術(shù)，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機界面、向?qū)降牟僮髁鞒獭⒑啙嵒挠涗浌芾怼?br /> SJ6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、最高測速下分辨率高等優(yōu)點，結(jié)合不同的光學鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下，可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
主要性能參數(shù)：
穩(wěn)頻精度：0.05ppm
測量精度：0.5ppm（0-40）℃
線性測量距離：（0-80）m （無需遠距離線性附件）
測量分辨率：1nm
動態(tài)采集頻率：50kHz
測量最大速度：4m/s
應(yīng)用：廣泛應(yīng)用于機床、三坐標、機器人、3D打印設(shè)備、自動化設(shè)備、線性位移平臺、精密機械設(shè)備、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線性測量
SJ6000激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細分技術(shù)，可實現(xiàn)最高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償；采用高性能計算機控制系統(tǒng)及軟件技術(shù)，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機界面、向?qū)降牟僮髁鞒獭⒑啙嵒挠涗浌芾怼?br /> SJ6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、最高測速下分辨率高等優(yōu)點，結(jié)合不同的光學鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下，可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
主要性能參數(shù)：
穩(wěn)頻精度：0.05ppm
測量精度：0.5ppm（0-40）℃
線性測量距離：（0-80）m （無需遠距離線性附件）
測量分辨率：1nm
動態(tài)采集頻率：50kHz
測量最大速度：4m/s
應(yīng)用：廣泛應(yīng)用于機床、三坐標、機器人、3D打印設(shè)備、自動化設(shè)備、線性位移平臺、精密機械設(shè)備、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線性測量
